他伸出戴着无尘手套的手指,轻点两下唤醒屏幕,然后迅速输入了一长串复杂的动态密钥。
屏幕亮起,瞬间切换到一个高度复杂、标注详尽的三维光路设计图界面。
张汝宁转过身面向众人。
刚刚还在低声讨论的寿荣昌、范洪杰、孔学武等人瞬间噤声。
整个超净车间里,只剩下空气循环系统的低鸣,以及二十几道凝聚着震惊、好奇与求知欲的目光,齐刷刷地聚焦在那块大屏幕上。
只有少数几名跟随张汝宁全程参与研发和测试的长光及火炬核心成员除外,
他们脸上露出了然于胸的会心笑容,饶有兴致地等待着同事们接下来的精彩反应。
“各位,”张汝宁的声音透过口罩,清晰而沉稳,“这就是我们‘全新ArF1800物镜系统’的核心设计。”
他指向屏幕中央复杂的光路图:“首先,大家最关心的光路问题。”
光路图被高亮,一条虚拟的、代表193nmDUV激光束的紫色线条开始沿着预设路径动态延伸。
“光源,从这里,1号凸透镜上方特定角度入射。”光点精确地落在1号镜上。
“然后,光线会依次经过这里、这里…”代表光路的紫色辅助线快速在几个镜片间跳跃,“注意看这里,5号棱镜!还有这里,7号棱镜!光线在它们表面,并非单一地折射或反射…”
随着他的讲解,屏幕上5号和7号棱镜的位置被放大、高亮。
然而,两股光束在接触到棱镜表面时,竟然诡异地走向了两个方向!
一股清晰地沿着折射路径穿透棱镜继续前进,而另一股则沿着反射路径改变了90度方向!
“这…这怎么可能?!”范洪杰心中狂震,差点喊出声。
他死死盯着屏幕,感觉脑子有点发钝:
一个光学元件,怎么可能同时承载折射和反射功能?
在物镜系统内,折射元件表面的反射效应是主要干扰之一,要尽可能消除的。
但张汝宁却没有停顿,继续引导光路前进:“…经过16次折射和4次关键反射后,最终,光线会在这里——底镜,被完美汇聚!”
光点最终精准地聚焦在代表硅片平面的目标点上。
很快,范洪杰就意识到,问题不只出在那两处。
通过3号和12号镜片的折射光路走向也非常奇怪,看上去就好像把把镜面轮廓给画错了一样…
他强压下立刻提问的冲动,只是把关键疑点记在脑子里,准备事后细问。
然而,张汝宁的解释反而更快一步。
“好,光路清楚了。”他的语气变得无比严肃,“现在强调安装和调试的核心关键点!”
“整个物镜组的核心,是这四块镜片!”指尖依次点中3号透镜、5号棱镜、7号棱镜、12号透镜,它们在屏幕上闪烁着醒目的高亮轮廓线。
“它们由一种革命性负折射材料制成。”张汝宁语气平淡地吐出了一个石破天惊的名词,“其中3号和12号透镜的主要功能是消除系统色差,确保成像清晰度。”
“而5号和7号棱镜,”张汝宁继续介绍“利用负折射材料的特殊光学性质,同时发挥折射和反射功能,避免垂直入射的光线被其它元件遮挡…”
他环视全场:
“正因如此,这套物镜组在安装、定位和校准过程中,其基准点设置,与我们之前的ArF1500系统完全不同,不再是传统的1号镜、中间镜、底镜三点校准!”
屏幕上,四个红色三角精确地标定在3号透镜、7号棱镜、12号透镜以及底镜的位置上。
“而是3号、7号、12号、底镜,四基准点校准!其定位精度要求和相互关联的复杂程度,远超以往任何型号,这也是为什么必须由我们最精锐的原班人马亲自操刀,SMEE和华芯的同志密切配合…”
实际上后面这部分内容,张汝宁大概率要再说一遍了。
因为当“负折射材料”五个字从他口中吐出的瞬间,大部分人就已经进入了呆若木鸡的状态。
尤其范洪杰,更是瞬间明白了什么叫“更让你震惊的在后面”。
好嘛!
这技术,我是真没见过…